當(dāng)前位置:深圳市中圖儀器股份有限公司>>顯微測量儀>>臺階儀>> NS200國產(chǎn)臺階儀品牌
NS200國產(chǎn)臺階儀品牌可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度,、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量,。臺階儀對測量工件的表面反光特性,、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,,樣品適應(yīng)面廣,,數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定,、便捷,、高效,是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段,。
產(chǎn)品特性
1.出色的重復(fù)性和再現(xiàn)性,,滿足被測件測量精度要求
線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,,13um量程下可達(dá)0.01埃,。高信噪比和低線性誤差,,使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征,。
2.超微力恒力傳感器:(1-50)mg可調(diào)
測力恒定可調(diào),,以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面,。超低慣量設(shè)計和微小電磁力控制,,實現(xiàn)無接觸損傷的精準(zhǔn)接觸式測量,。
3.超平掃描平臺
系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌,,杜絕運動中的細(xì)微抖動,,提高掃描精度,,真實反映工件微小形貌,。
4.頂視光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng),,5MP超高分辨率彩色相機
5.全自動XY載物臺, Z軸自動升降,、360°全自動θ轉(zhuǎn)臺
6.強大的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)
臺階儀軟件包含多個模塊,,為對不同被測件的高度測量及分析評價提供充分支持。
產(chǎn)品功能
1.參數(shù)測量功能
1)臺階高度:能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度,,可以準(zhǔn)確測量蝕刻,、濺射、SIMS,、沉積,、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料,;
2)粗糙度與波紋度:能夠測量樣品的粗糙度和波紋度,,分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線,可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra,、RMS,、Rv、Rp,、Rz等20余項參數(shù),;
3)翹曲與形狀:能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲,如在半導(dǎo)體晶圓制造過程中,,因多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配所產(chǎn)生的翹曲或形狀變化,,或者類似透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。
2.數(shù)采與分析系統(tǒng)
1)自定義測量模式:支持用戶以自定義輸入坐標(biāo)位置或相對位移量的方式來設(shè)定掃描路徑的測量模式,;
2)導(dǎo)航圖智能測量模式:支持用戶結(jié)合導(dǎo)航圖,、標(biāo)定數(shù)據(jù)、即時圖像以智能化生成移動命令方式來實現(xiàn)掃描的測量模式,。
3)SPC統(tǒng)計分析:支持對不同種類被測件進(jìn)行多種指標(biāo)參數(shù)的分析,,針對批量樣品的測量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計數(shù)據(jù)的變化趨勢。
3.光學(xué)導(dǎo)航功能
配備了500W像素的彩色相機,,可實時將探針掃描軌跡的形貌圖像傳輸?shù)杰浖酗@示,,進(jìn)行即時的高精度定位測量,。
4.樣品空間姿態(tài)調(diào)節(jié)功能
配備了精密XY位移臺、360°電動旋轉(zhuǎn)平臺和電動升降Z軸,,可對樣品的XYZ,、角度等空間姿態(tài)進(jìn)行調(diào)節(jié),提高測量精度及效率,。
臺階儀還是一種常用的膜厚測量儀器,,它是利用光學(xué)干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度,,具有測量精度高,、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點,。它可以測量各種材料的膜層厚度,,包括金屬、陶瓷,、塑料等,。
NS200國產(chǎn)臺階儀品牌是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀,其采用LVDC電容傳感器,,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢,。針對測量ITO導(dǎo)電薄膜的應(yīng)用場景,NS200臺階儀提供如下便捷功能:
1)結(jié)合了360°旋轉(zhuǎn)臺的全電動載物臺,,能夠快速定位到測量標(biāo)志位,;
2)對于批量樣件,提供自定義多區(qū)域測量功能,,實現(xiàn)一鍵多點位測量,;
3)提供SPC統(tǒng)計分析功能,直觀分析測量數(shù)值變化趨勢,;
部分技術(shù)參數(shù)
型號 | NS200 |
測量技術(shù) | 探針式表面輪廓測量技術(shù) |
探針傳感器 | 超低慣量,,LVDC傳感器 |
平臺移動范圍X/Y | 電動X/Y(150mm*150mm)(可手動校平) |
樣品R-θ載物臺 | 電動,360°連續(xù)旋轉(zhuǎn) |
單次掃描長度 | 55mm |
樣品厚度 | 50mm |
載物臺晶圓尺寸 | 150mm(6吋),200mm(8吋) |
尺寸(L×W×H)mm | 640*626*534 |
重量 | 40kg |
儀器電源 | 100-240 VAC,,50/60 Hz,200W |
使用環(huán)境
相對濕度:濕度 (無凝結(jié))30-40% RH
溫度:16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)
地面振動:6.35μm/s(1-100Hz)
音頻噪音:≤80dB
空氣層流:≤0.508 m/s(向下流動)
如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢,。